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汞燈作為一種重要的光源,在工業(yè)固化、醫(yī)療殺菌、光刻曝光等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。但汞燈本質(zhì)上是典型的點(diǎn)光源,其光線以球面向外輻射,在照射區(qū)域形成 “中心亮、邊緣暗" 的不均勻分布,這種特性嚴(yán)重制約了其在高精度場(chǎng)景中的應(yīng)用。因此,通過均光化技術(shù)將汞燈從點(diǎn)光源轉(zhuǎn)化為面光源,成為提升其應(yīng)用價(jià)值的關(guān)鍵。
汞燈的點(diǎn)光源特性帶來的核心問題是光照均勻性差。在紫外固化工藝中,不均勻的光照會(huì)導(dǎo)致材料表面固化程度不一,出現(xiàn)局部過固化或欠固化現(xiàn)象,直接影響產(chǎn)品的力學(xué)性能和外觀質(zhì)量;在醫(yī)療殺菌領(lǐng)域,光留下衛(wèi)生隱患。為解決這些問題,均光化技術(shù)通過光學(xué)調(diào)控手段,將點(diǎn)光源的發(fā)散光線轉(zhuǎn)化為均勻的面光源輸出,實(shí)現(xiàn)光照強(qiáng)度在目標(biāo)面上的穩(wěn)定分布。
實(shí)現(xiàn)汞燈從點(diǎn)光源到面光源的轉(zhuǎn)變,需從光學(xué)元件設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成優(yōu)化等多維度展開。在光學(xué)元件設(shè)計(jì)層面,微透鏡陣列是應(yīng)用廣泛的均光器件之一。由數(shù)百個(gè)微型透鏡組成的陣列,能將汞燈發(fā)出的光束分割為多個(gè)子光束,每個(gè)子光束經(jīng)透鏡聚焦后在目標(biāo)面上形成獨(dú)立光斑,通過調(diào)整透鏡的曲率、間距和排列方式,可使子光斑相互疊加覆蓋,抵消單點(diǎn)光源的強(qiáng)度差異。例如,在 LCD 曝光設(shè)備中,采用矩形微透鏡陣列可使光照均勻性提升至 90% 以上,滿足高精度曝光需求。
積分棒(又稱光導(dǎo)管)則通過多次反射原理實(shí)現(xiàn)均光。汞燈光線進(jìn)入積分棒后,在棒體內(nèi)經(jīng)內(nèi)壁多次反射,使光線在傳播過程中不斷混合,最終從出口射出時(shí)形成均勻的面光源。積分棒的長(zhǎng)度、橫截面形狀(如方形、圓形)會(huì)影響均光效果,通常長(zhǎng)徑比越大,光線混合越充分,均勻性越好。在紫外固化流水線中,搭配積分棒的汞燈系統(tǒng)能使固化區(qū)域的光照強(qiáng)度偏差控制在 5% 以內(nèi)。
傳統(tǒng)汞燈多采用球面反光罩,雖能匯聚光線,但易在中心區(qū)域形成強(qiáng)光點(diǎn)。而拋物面反光罩可將光線平行導(dǎo)出,配合漫反射涂層,能有效削弱光斑中心的峰值強(qiáng)度。例如,在 PCB 板曝光工藝中,采用拋物面反光罩與微透鏡陣列組合的方案,可使曝光面的光照均勻性提升至 95%,顯著減少因光照不均導(dǎo)致的線路缺陷。
隨著技術(shù)的發(fā)展,自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)開始應(yīng)用于汞燈均光化設(shè)計(jì)。通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)目標(biāo)面的光照分布,利用可變形鏡調(diào)整光路,能動(dòng)態(tài)補(bǔ)償因汞燈老化、溫度變化等因素引起的均勻性波動(dòng)。這種智能調(diào)控技術(shù)尤其適用于精密光刻領(lǐng)域,可將長(zhǎng)期使用過程中的光照均勻性穩(wěn)定在 98% 以上,大幅提升芯片制造的良率。
此外,多光源協(xié)同技術(shù)為大尺寸面光源提供了新思路。將多支汞燈按特定陣列排布,通過光學(xué)設(shè)計(jì)使各光源的照射區(qū)域相互疊加,結(jié)合邊緣光強(qiáng)補(bǔ)償算法,可實(shí)現(xiàn)數(shù)平方米范圍內(nèi)的均勻照明。該技術(shù)已成功應(yīng)用于大型液晶面板的固化生產(chǎn)線,光照均勻性達(dá)到 92%,滿足了大尺寸工件的加工需求。
汞燈均光化技術(shù)的發(fā)展,本質(zhì)上是對(duì)光能量分布的精準(zhǔn)調(diào)控。從早期的單一光學(xué)元件應(yīng)用,到如今多技術(shù)融合的智能系統(tǒng),每一步突破都推動(dòng)著汞燈制造領(lǐng)域的應(yīng)用邊界。未來,隨著新材料(如納米級(jí)光學(xué)涂層)、新算法(如人工智能光路優(yōu)化)的引入,汞燈均光化技術(shù)將朝著更高均勻性、更廣適應(yīng)性、更低能耗的方向邁進(jìn),為工業(yè)生產(chǎn)的精密化、智能化提供更有力的光源支持。
產(chǎn)品展示
SSC-HM500-M23均光汞燈光源是專門針對(duì)紫外區(qū)的催化實(shí)驗(yàn)、光刻蝕、光催化、光降解、化學(xué)合成的研究級(jí)汞燈光源;光源內(nèi)部安裝500W 高壓短弧球形汞燈,在高頻高壓激發(fā)下形成弧光放電,輻射出強(qiáng)而穩(wěn)定的紫外區(qū)強(qiáng)烈光譜,能量密度高,輸出穩(wěn)定,適用于紫外區(qū)的光化學(xué)研究和光電的各種實(shí)驗(yàn),特別適用于強(qiáng)光催化(如光降解及其他光催化研究)。
光源可兼容多種規(guī)格、品牌、進(jìn)口及國(guó)產(chǎn)濾光片及透鏡(25.4mm,50.8mm,,M52,M62等),常用濾光片規(guī)格(紫外帶通濾光片):254nm,313nm,334nm,350nm,365nm,380nm,400nm,405nm。鑫視科可以提供各種規(guī)格石英濾光片、反光片、K9光學(xué)濾光片等。
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